铸铁平板等平直度量具平面度误差的测量器具通常有两大类:一类是水平仪,另一类是准直仪。水平仪类按其工作原理分为水准器式水平仪和电子水平仪两种,水准器式水平仪又分为钳工水平仪、
框式水平仪和
合像水平仪三种。框式水平仪示值误差为标称分度值(0.02mm/m-0.5mm/m)与实际平均分度值之差不应超过标称分度值的10%;标称分度值与任意一个实际分度值之差不应超过标称分度值的10%;标称分度值与任意一个实际分度值之差不应超过标称分度值的20%。合像水平仪的示值误差在全部测量范围内不大于+-0.02mm/m,在市值范围中的+-1mm/m范围内不超过+-0.01mm/m.电子水平仪有水平式和铅垂式两种,水平式电子水平仪的分度值和量程一般有两档,分度值为1''及2''的量程分别为+-20''及+-40'',示值误差小于分度值;铅垂式电子水平仪的分度值和量程有三档,分度值为2''、4''、20''时,其量程分别为+-50''、+-100''、+-8'',示值误差小于分度值。
准直仪是一种高灵敏度的精密测角仪器。常用的准直仪有光学平直仪、自准直仪和光电自准