研磨面平尺的检测

     对于200mm长的研磨面平尺，应用210mm长平晶分6段7个测点检定。将各测点干涉环的变化量小数部分，以x轴为起点标在直角坐标系中，链接两端点连线量的各测点至该连线的距离，得到各测点对其两端点连线的局部误差，以最大正、负偏差绝对值之和为所求研磨面平尺平面度误差值。
     当被检研磨面平尺长度（如300、400、500mm）超过长平晶长度（210mm）时，需要移位分段法检测。