各种规格研磨平尺的检定技巧

    对于长330mm的研磨平尺，可用210mm的长平晶在平面等倾干涉仪以及分段法检定。只能检测300mm长度，分0至180mm、90mm~270mm、120mm~300mm三次测量。每次测量180mm长的7个测点，共得21个读数，按照下述方法进行数据处理。
    1、检定0至180mm间各点对0至180mm两点连线的偏差，按照（4-6）参考长平晶平面度偏差，计算这180mm长度各测点对0和180mm两点连线的偏差。
    2、检定90-270mm间各点对90mm和270mm两点连线的偏差，按照（4-6）且考虑长平晶平面度偏差，计算这180mm长度上各测点对90mm和270mm两点连线的偏差。
    3、检定120mm至300mm间各点对120mm和300mm两点连线的偏差，按照（4-6）且考虑长平晶平面度偏差，计算这180mm长度上各测点对120mm和300mm两点连线的偏差。
    4、计算0至270mm间各点对0和270mm两点连线的偏差，与计算长300mm研磨平尺方法完全相同。
    5、计算0至300mm间各点对0和300mm两点连线的偏差，计算方法是：在120mm至300mm测量段内，以120mm和270mm两点的连线为基准，并延长至300mm，得到300这点对此连线的偏差。这点偏差与在0至270mm测量段内测量结果中，连接120mm和270mm两点并延长至300mm得到的300mm这点对120mm和270mm连线的坐标值叠加起来，得到300mm这点偏差，即可求得0至300mm间各点对0至300mm间各点对0和300mm连点连线的偏差，其偏差的正负最大绝对值之和即为被测研磨平尺直线度误差值。